气浮式光学平台(气浮平台原理介绍)

气浮式光学平台(气浮平台原理介绍)

1、气浮平台原理介绍 探针台是半导体行业重要的检测装备之一,其广泛应用于复杂、 高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 半导体