SiTime Corporation开发了突破性MEMS硅计时解决方案，并可提供超稳健、可靠、可配置且交货期超短的出色产品。该公司的可编程振荡器是各类先进电子产品的核心，适用于网络和通信、存储和计算、消费电子以及工业设备等各种应用。
（2023在建）11、河南省智能传感器MEMS中试平台（中试线）-8英寸
MEMS Drive目前采用双代工厂的策略，同时和两家世界优秀的MEMS晶圆代工厂合作，产品开发近期取得了飞速进展。
UMC（联华电子）成立于1980年，联电大部分的12吋和8吋晶圆厂及研发中心位于台湾，另有数座晶圆厂在亚洲其他地区。联电现共有十二座晶圆厂，月产能总计约80万片，主要为8吋成熟制程晶圆。
据2023年8月最新消息，该项目处于搁置状态，启动日期未定。
从技术方面来看，Yole认为，当前影响MEMS技术发展趋势的三大支柱分别为：一是材料上的革命，如采用诸如氮化铝、锆钛酸铅等压电新材料，来提升MEMS器件的功能、增强灵敏度，和降低能耗；二是三维（3D）集成（包括大热的Chiplet），如MEMS 后道工艺、集成电路芯片/单芯片SoC片上系统的三维堆叠、12英寸MEMS产线的支持；三是先进封装，如过去前期处理（数字信号处理）、传感器融合、无线控制器、硅通孔TSV/玻璃通孔TGV技术到现在埋入式软件/算法、边缘智能和异质异构集成技术。
与集成电路一样，MEMS芯片广泛采用硅作为晶圆衬底材料，而基于集成电路制造的光刻、薄膜沉积、刻蚀、掺杂等单项工艺，也成为MEMS芯片制造的通用技术，主要分为：前端工艺和后端封装工艺。其中，前端工艺主要包含晶圆清洗、光刻、蚀刻等步骤；后端封装工艺主要包含测试、封装和成品检测。
实物FBAR扫描电镜图。故意将其设计成不平行多边形是为了避免水平方向水平方向反射导致的谐振，如果水平方向有谐振则会形成杂波。
美泰科技拥有自己的MEMS传感器芯片产线，是一家IDM企业。2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收，用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线月产能达到1万片。
原位芯片专注于MEMS液体流量传感器、贴片式胰岛素泵芯片和氮化硅薄膜窗格等产品，其自主研发的氮化硅薄膜窗口产品成功打破海外垄断，液体流量传感器、贴片式胰岛素泵芯片也是国内同类产品首创。
Avago在射频MEMS领域具有举足轻重的位置，博通也是因为被Avago收购之后而跻身全球MEMS Top 之列，成为目前的第二大的MEMS厂家。2021年博通的营收接近14亿美元。
MEMS产品与一般的集成电路产品不同，因为涉及到复杂的微机械结构，且没有一般集成电路设计中成熟的第三方EDA工具可以使用来做仿真，现实中需要设计和生产工艺紧密结合，制造端已有的工艺路线在很大程度上决定了MEMS芯片的设计路线，而MEMS芯片的设计路线又需要对制造端的工艺模块进行重组和调试， 以实现芯片所需达到的功能和可靠性要求，否则设计出来的MEMS结构很可能无法在现有的半导体加工工艺下达到量产或者保证高良率。此外，不同传感器类型拥有不同机械特性，使得一种工艺路线只能对应一种传感器。因此，MEMS芯片的研发企业必须同时进行芯片和工艺的研发，在晶圆代工厂缺乏成熟工艺的情况下，需要与代工厂共同开发工艺，或是对代工厂的工艺模块进行重新组合和调试，因此 MEMS芯片研发和量产的难度相对较高，所需时间也较长。
5、mems芯片龙头上市公司浙江芯动科技有限公司位于浙江省嘉兴市，是一家专注高端MEMS代工并拥有自主知识产权的生产加工企业，是纳杰微电子旗下公司。
飞恩微电子成立于2011年，是一家MEMS传感器芯片及系统产品供应商，公司以汽车电子、工业电子和消费电子产品为核心业务，提供芯片（专用集成电路芯片、MEMS芯片）、MEMS传感器、MEMS传感器系统产品、测试设备等四大类产品，以及ODM/OEM服务。2022年，飞恩微电子研发出国内首款车规级MEMS压力传感器芯片。
Semefab有一系列的专有技术，如Micro Hot Plate，可创建适用于气体光谱测定的宽带红外（IR）光源；热电堆，用于非接触温度检测；呼吸传感器，易于佩戴，用于监测呼吸状况，睡眠呼吸暂停等。2019年MEMS代工销售额：590万美元，2020年MEMS代工销售额：650万美元。
6、mems芯片制造龙头根据著名半导体咨询机构Yole的最新MEMS产业报告《MEMS产业现状2022》显示，从全球范围内看，2021年赛微电子旗下全资子公司瑞典Silex Microsystems AB 继续位居全球MEMS晶圆代工第一宝座。
MEMS主要包含两个部分：传感器和执行器。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
这一消息对中国手机产业和通信技术领域具有巨大的重要性和深远的影响。首先，中国手机制造商将能够采用本土生产的5G和6G射频芯片，为用户提供更高速、更稳定的5G和6G通信服务，从而增强中国手机品牌的全球竞争力，推动整个行业的发展。
7、mems芯片应用场景1949年12月，作为丰田汽车工业株式会社的零部件工厂之一的电装，从丰田集团独立分离出来，以1500万日元的资本金和1445名员工的规模，在日本爱知县刈谷市成立了“日本株式会社电装”，并开始了运营。
河南省智能传感器MEMS中试平台落户郑州高新区的中国（郑州）智能传感谷，于2022年8月动工建设。
毋庸置疑，集成电路产业是要靠整个供应链的发展才能起飞的，我国近20年来芯片设计行业的飞速发展也正是因为中芯国际、华宏宏力、长电科技、通富微电、华天等供应链公司的成长和壮大。同样的道理，我国MEMS产业要想得到长足的发展，在我国本土必须有非常强大和成熟的本土供应链做支撑才可以，而这个正是我国MEMS产业的软肋所在。中国MEMS产业在2010年前后才逐渐起步，过去很长一段时间，国内缺乏系统、完整的MEMS生产体系，无法为本土的MEMS设计公司提供供应链支持，成为制约中国MEMS产业发展的最大障碍。
8、mems芯片与ic芯片罗姆是全球知名的半导体和传感器厂商，擅长利用薄膜压电元件的MEMS工艺，基于其子公司LAPIS Semiconductor Miyazaki建立的制造工艺，可提供针对各种市场和应用而优化的压电MEMS。ROHM的MEMS工艺利用薄膜压电元件提供的主要优点包括：综合生产系统中，可实现高质量和灵活的产品制造和控制；使用6英寸和8英寸晶圆；全天候运行可加速开发，同时实现早期生产启动。2019年MEMS代工销售额：850万美元，2020年MEMS代工销售额：800万美元。
湖北宜昌东方微磁有限公司是中国船舶重工集团公司第七一〇研究所全资子公司，是一家致力于磁学计量和中国磁电产业发展的高新技术企业，建有国防科技工业弱磁一级计量站、磁电子技术国家地方联合工程实验室、湖北省磁电子工业技术研究院，拥有国内第一条MEMS磁传感器芯片生产线。
对MEMS的强劲需求，使得一些MEMS代工厂的产能已经排到2023年底。但Yole分析师指出，由于当前的微观经济和宏观经济形势导致运营成本上升，导致利润率下降，某些MEMS器件的平均售价增加。再加上一些集成商对MEMS芯片的囤积恐导致的未来库存过剩，可能导致2023年及以后的MEMS厂商活动低迷。
9、mems芯片龙头上市公司MEMS芯片和集成电路芯片虽然都是在半导体晶圆上的微型元件，但二者还是有些区别。相比于集成电路芯片，MEMS芯片通过微机械结构控制物理现象并转换为电信号输出，能够实现机械与电子之间的互动。集成电路芯片主要利用电流、电磁等方式传输信号。
上图所示为消除杂波前后等效导纳（即阻抗倒数，或者简单理解为电阻值倒数）。消除杂波后其特性曲线更平滑，效率更高，损耗更小，所形成的滤波器在同频带内的纹波更小。
优势产品包括MEMS惯性器件与系统、MEMS传感器、汽车传感器、压力传感器、射频（RF）MEMS器件等。
10、mems芯片制造龙头华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成，总部位于无锡，拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。
随着产业融合和AIoT的发展，MEMS智能传感器或许将是未来的主流。
至于陀螺仪的结构，核心就是一个呼呼转不停的转子，作为其他运动物体的静止锚定物。下图，高速旋转的陀螺在一条线上保持平衡，这就是陀螺仪的基本原理。
